氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴(kuò)散;另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到僅對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。
影響氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度的因素包括實際檢測條件、輔助真空系統(tǒng)以及操作人員的技術(shù)等多方面。這次螺桿真空泵廠家分享的主要是其中離子源質(zhì)譜分析管受到污染后的維護(hù)方法。當(dāng)發(fā)現(xiàn)檢漏儀的靈敏度降低，而檢漏儀的工作真空度狀態(tài)良好，放大器的各級工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求，就基本上可以確定檢漏儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染。
氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏時，產(chǎn)生測量誤差的主要來源主要包括8個方面：
，氦質(zhì)譜檢漏儀在校準(zhǔn)靈敏度時，標(biāo)準(zhǔn)漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同，即，標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大，漏入氦氣在途中損失不相等，這會導(dǎo)致經(jīng)二者進(jìn)入檢漏儀的氦氣量可比性差。
第二，進(jìn)入被檢漏孔和標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準(zhǔn)確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無法換算，這時也會產(chǎn)生漏率測量誤差。
第三，所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱漏率有誤差。
第四，氦質(zhì)譜檢漏儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。
第五，校準(zhǔn)靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時，所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。
第六，檢漏儀的性能不穩(wěn)定。
第七，氦氣純度不穩(wěn)定或存在誤差。
第八，之后也就是檢漏操作人員的因素，包括素質(zhì)、責(zé)任心、技術(shù)水平以及工作經(jīng)驗等。
氦質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度高，用得普遍的檢漏儀器。
